Электронно-зондовый макроанализ неоднородных поверхностей (в свете теории распознавания образов).

Обобщены результаты применения методов электронно-зондового рентгеноспектрального микроанализа (РСМА) и Оже-электронной спектроскопии (ОЭС) для количественного фазового и элементного анализа многокомпонентных многофазных объектов: срастаний минералов и полупроводниковых структур. Предложены новые подходы к повышению уровня формализации и эффективности микроанализа, которые отличаются применением методов теории распознавания образов к неоднородным многомерным результатам измерения и расчета концентраций. Обоснованы новые варианты физических моделей РСМА и ОЭС. Оки отличаются поправками на дефицит электрической проводимости, атомную плотность поверхностного слоя и другие матричные факторы. Отмечены возможности новых путей автоматизации локальных методов анализа на основе многомерного статистического преобразования (МСП) результатов измерения с учетом матричных поправок. Книга рассчитана на аналитиков и пользователей аппаратуры и методов ЭЗМА.